AccuSizer® A7000 SIS-2 注射型(原液)液體顆粒計數(shù)器

型號AccuSizer®A7000 SIS        

檢測范圍0.5 - 400μm        

計數(shù)濃度10000個/ml        

   

AAcuSizer® A7000 SIS注射型(原液)液體顆粒計數(shù)器具有高靈敏度,，高分辨率,，高達1024數(shù)據(jù)通道的特點。在檢測液體中的顆粒數(shù)量的同時精確測量顆粒的粒度及粒度分布,，結(jié)合全新一代AccuSizer軟件的強大分析功能,，通過真實精細(xì)的分布結(jié)果，廣泛服務(wù)于光電材料（PI,、光刻膠）,、IVD、凈水,、墨水,、過濾、精密加工等領(lǐng)域,。

       

AcuSizer A7000 SIS
注射型(原液)液體顆粒計數(shù)器

檢測范圍： 0.5μm - 400μm

樣品濃度： 10000個/mL

可根據(jù)樣品特性,，選配不同的進樣系統(tǒng)。不僅可以檢測常規(guī)液體樣本,，升級后可檢測油品樣本,。

應(yīng)用: 光電材料（PI、光刻膠）,、IVD,、凈水、墨水,、過濾,、精密加工等。

產(chǎn)品優(yōu)勢

       

           

           

           

①進樣器: 全自動進樣系統(tǒng),，測樣過程安全,、簡單、快捷配備不同型號的注射器,，拆卸方便,。

②主機: 1024通道計算實現(xiàn)儀器的高分辨率、高靈敏度,。

③傳感器: 獨立安裝,，方便拆卸，既有利于維護維修,，也便于更換其他型號傳感器,。

④Loop進樣環(huán)：A7000 APS配備了不同體積的進樣環(huán)，選用不同的進樣環(huán),，在保證精確進樣量的同時,，可以滿足不同濃度樣品的檢測要求。

計數(shù)效率高
High counting efficiency

顆粒計數(shù)器的計數(shù)效率主要體現(xiàn)在兩個指標(biāo)上: 單位時間內(nèi)可計數(shù)的總數(shù)和重復(fù)性(統(tǒng)計學(xué)意義)A7000系列顆粒計數(shù)器可以在短時間內(nèi)快速計數(shù)大量粒子,，其優(yōu)秀的硬件和軟件設(shè)計為數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性提供了有利保障,。

A7000 SIS 測試3次數(shù)據(jù)結(jié)果匯總表
	測試得到的樣品濃度(單位：顆/mL)
第一次測試	16644666
第二次測試	16140229
第三次測試	16483163
RSD	1.28%

A7000 SIS 測試3次數(shù)據(jù)譜圖結(jié)果匯總

           

從測試結(jié)果數(shù)據(jù)看,，使用A7000 SIS測試的亞微米標(biāo)準(zhǔn)粒子，其樣品濃度約為8210顆/mL,，樣品濃度三次測試結(jié)果的RSD為0.70%,。充分說明了A7000 SIS在測試高濃度樣本時結(jié)果真實有效。

CETAC自動進樣系統(tǒng)

搭載全自動進樣器,，可滿足多組樣品的檢測需求,，大大節(jié)省操作時間和人工成本。

       

Multiple sample trays available

3×7 samples-30mm tube（50mL）
4×10 samples-20mm tube（20mL）
5×12 samples-16mm tube（14mL）
6×15 samples-13mm tube（7mL）

兼容水相有機相

可兼容水相有機相,，適應(yīng)多樣化的樣品檢測,。

   

檢測原理

單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)
Single Particle Optical(SPOS)

傳統(tǒng)的粒度表征的方式是用激光衍射法來獲得粒度體積徑分布。其優(yōu)點是檢測方便,，干法濕法都能測試,，數(shù)據(jù)結(jié)果容易辨讀，如D10,，D50,，D90。但由于其理論的理想化假設(shè),，如米氏散射理論和夫瑯禾費衍射理論都將顆粒假定為非常標(biāo)準(zhǔn)的圓形且計算中采用的物理光學(xué)參數(shù)都非常精確,，這就導(dǎo)致了在實際應(yīng)用中產(chǎn)生了一系列的問題，如不同廠家的儀器測試的結(jié)果不統(tǒng)一,；即使同樣的樣品,，同樣的儀器在不同時期不同的人操作也會產(chǎn)生差異；對不同大小的粒徑分辨率不足等,。

AccuSizer® 系列儀器使用單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)（Single Particle Optical Sizing,，SPOS），對大量粒子樣本進行粒徑測試并計數(shù),，一次檢測一個顆粒,，來構(gòu)建真正的粒度分布（PSD），不僅可以得到高分辨率傳統(tǒng)的體積分布結(jié)果,，也可以得到量化的數(shù)量分布結(jié)果,。其將樣品中顆粒的數(shù)量和大小進行了量化，可以很輕松地將樣品中的個別大顆粒檢測出來,，對尾端粒子的高分辨率和靈敏性為產(chǎn)品的均一穩(wěn)定性研究提供了強有力的幫助,。

   

   

粒子通過光感區(qū)域的時候阻礙了一部分入射光,，引起到達檢測器的光強降低,，此信號的衰減幅度理論上與粒子的橫截面成比例關(guān)系。在光阻法儀器中,，將光強信號轉(zhuǎn)換成電信號,，具體表現(xiàn)為電壓值,，不同粒徑大小的粒子產(chǎn)生的電壓值不同。根據(jù)對應(yīng)關(guān)系,，就可以建立標(biāo)準(zhǔn)粒子和粒徑大小的校準(zhǔn)曲線,。這是傳統(tǒng)的光阻法（也稱為光消減法，Light Extinction or Light obscuration）檢測粒徑的原理,。傳統(tǒng)光阻法的范圍下限一般到1.5µm,。

單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(SPOS)原理圖

Entegris（PSS）的SPOS技術(shù)結(jié)合了光阻效應(yīng)和光散理論，將顆粒計數(shù)的下限下探到0.5µm,。這不僅迎合了更嚴(yán)苛的質(zhì)量要求,，也助力于精密制造對環(huán)境雜質(zhì)的高標(biāo)要求。多達512個數(shù)據(jù)通道使數(shù)據(jù)辨析清晰可見,。

如下圖所示,，所用樣品為經(jīng)過400目（37μm）篩的標(biāo)準(zhǔn)粒子。理論上超過37微米的應(yīng)該沒有或者極少,。紅色為激光衍射（Laser Diffraction）弗朗和費理論（Frannhofer）的測試結(jié)果,，綠色為SPOS設(shè)備測試結(jié)果。

SPOS測試結(jié)果顯示在35μm以上沒有顆粒,，而LD顯示即使300μm也有顆粒存在,。原因在于粒度檢測的整體理論（Ensemble method）是模擬計算的結(jié)果，此類理論揭示的是自然界中實際呈現(xiàn)的正態(tài)分布現(xiàn)象,。

技術(shù)優(yōu)勢

0.01μm精度的超高分辨率
Ultra high resolution with 0.01μm accuracy

分辨率是指分辨相鄰顆粒大小的能力,。Entegris（PSS）的SPOS技術(shù)可以提供多達1024個數(shù)據(jù)通道。得益于此,，在檢測量程范圍內(nèi),，可對粒徑大小進行更加精細(xì)的劃分，可達到0.01μm精度的超高分辨率,。展現(xiàn)出更真實的顆粒分布情況,，為研發(fā)和質(zhì)控提供更精確的數(shù)據(jù)，為研發(fā)保駕護航,。
如右圖所示,，為0.8μm、1μm,、2μm,、5μm、10μm,、20μm混合標(biāo)粒所得到的結(jié)果,。5個主峰清晰可見。

       

圖3-3 超高分辨率

多通道的優(yōu)勢
512 Channel

如下圖所示,，這是0.8μm,、2μm,、5μm的混合標(biāo)粒在8通道，16通道,，512通道下不同的圖譜,。可以看到,，在8通道下只有一個峰,，粒子的大小介于0.6μm-2.2μm之間。在16通道下,，可以看到2個峰,，一個峰的粒子大小介于0.6μm-1.2μm之間，另外一個峰的粒子大小介于4.1μm-7.5μm之間,。切換到512通道,，可以明顯看到3個主峰，分別是0.8μm,、2μm和5μm,。
在低通道的模式下，由于數(shù)據(jù)不夠精確,，容易導(dǎo)致誤判,。通道數(shù)變多，能夠更準(zhǔn)確反映出樣品的真實情況,。

       

8通道

       

16通道

       

512通道

10PPT等級的超高靈敏度
10PPT level ultra-high sensitivity

靈敏度高達10PPT級別,，緊緊抓住納米顆粒分布的“小尾巴"，哪怕只有痕量的顆粒通過傳感器,，也可以精準(zhǔn)檢測出來,。在實際的生產(chǎn)和研發(fā)中，往往是極少數(shù)的顆粒決定了整個體系的質(zhì)量和穩(wěn)定性,，如半導(dǎo) 體CMP制程所用研磨液(Slurny),、注射用乳劑中大乳粒(>5um，PFAT5)等,。高靈敏度的傳感器,，才能確保檢測結(jié)果更接近真實結(jié)果，助力于找到問題的真正根源和“罪魁禍?zhǔn)?,。

A7000系列單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(SPOS)檢測結(jié)果VS激光衍射儀(LD)檢測結(jié)果

左圖為使用SPOS技術(shù)測得的粒度分布圖譜,，右圖為使用激光衍射法(LD)技術(shù)測得的粒度分布圖譜。左圖為3.41微升的1微米PSL標(biāo)粒分散于250毫升氧化硅中的PSD圖譜,，右上圖為177微升同樣的標(biāo)粒分散于同體積氧化硅,，右下圖為360微升同樣的標(biāo)粒分散于4.3mL的氧化硅中。
由圖譜可以看出:盡管將濃度提高52倍(如右上圖所示)，LD不能將不同組分進行區(qū)分,；將濃度提高約6000倍(如右下圖所示),，方能看出有尾端大粒子存在,。這充分說明SPOS技術(shù)比LD的靈敏度顯著提升約6000倍,。

Accusizer工作站

AccuSizer® 工作站具備儀器控制、數(shù)據(jù)采集,、數(shù)理統(tǒng)計分析,、出具報告以及權(quán)限管理、用戶管理,、數(shù)據(jù)安全性,、審計追蹤和電子簽名等功能。

權(quán)限管理 | Authority management

內(nèi)置22種子權(quán)限管理,，靈活設(shè)置,，便于更細(xì)致化管理，滿足CSV計算機系統(tǒng)驗證,。

   

1.用戶管理
2.允許編輯測樣方法
3.數(shù)據(jù)庫管理
4.鏈接驅(qū)動
4.允許用戶用儀器測量樣品
5.對主機中固件更新（工程師權(quán)限）
6.密碼權(quán)限設(shè)置
7.可看,、輸出、更改數(shù)據(jù)自動備份位置
8.更改重新計算測試數(shù)據(jù)
9.導(dǎo)入曲線
10.曲線校準(zhǔn)（不對用戶開放）
11.增加減少報告模板
12.允許打印或?qū)С鰣蟾?br/>13.刪除測樣數(shù)據(jù)（僅軟件界面看不到,，數(shù)據(jù)庫數(shù)據(jù)依然存在,，并可還原）
14. 刪除測樣數(shù)據(jù)
15. 刪除報告
16. 刪除文件

數(shù)據(jù)備份 | Data backup

可與Lims系統(tǒng)連用并按照固定時間點或間隔時長，自動備份到路徑或上傳到其他服務(wù)器,，無需擔(dān)心數(shù)據(jù)丟失,。

內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)和模板

全通道 VS 自定義通道

樣品測試界面

自定義報告

高度可定制化報告模版，更可以滿足不同行業(yè)的不同需求,，既可以滿足質(zhì)檢部門(QC)的需求,，更可以為研發(fā)工程師提供強大的數(shù)據(jù)分析能力。